静电放电：静电电荷在电势不同的物体之间的突然转移，物体相互接近时通常会产生火花。
欧姆：电阻的单位。
每平方单位欧姆：表面电阻律的过时单位，需要使用方形探测仪来确定，不适用于欧洲使用的新ESD标准。
静电导电：电阻（RS、RV或者RG）小于105欧姆但是大于103欧姆，通常使用100伏特的直流电来测量。
静电耗散：电阻大于105但是小于1012欧姆，通常使用100伏特的直流电来测量。
绝缘：电阻大于1012欧姆。
静电衰减时间：静电电荷数从给定电势（如1000伏特）降低到初始数值的一定比例（通常为10%）所需的时间。用来更好地表示具有高电阻的材料，其电阻通常高于109欧姆（在IEC61340-5-1标准中为1010欧姆）。
抗静电：许多材料在同其他物体进行摩擦或从其他物体上脱离下来时都会带有静电，抗静电材料不会发生这种现象，或者仅产生轻微的静电。（见低电荷）。
无静电：“抗静电”的同义词（见低电荷）。
低电荷：具有能够将所有电荷降低到最低水平的材料或者包装。
注：前面所介绍的“抗静电”和“无静电”也包含在这个概念中。
表面电阻：通常使用欧姆来表示，表示在一个平面物体（如台垫或者包装膜）上的同一面的分开放置的两个电极（预定尺寸、重量和硬度）之间的电阻。用来制定这个测量方式的标准应该进行注释。
体积电阻：通常使用欧姆来表示，表示放置在一个平面物体（如台垫或者包装膜）的对立面上的两个电极（预定尺寸、重量和硬度）之间的电阻。应对材料的厚度和使用的测试方法进行注释。
ESD保护区域：一个可以在其中以很低的ESD损害风险处理ESD敏感元件的区域，大小不限，如工作台或者工厂等。
接地面：大型导体，如地球、建筑物的钢架或者船只的船体等，用来作为电流的回路以及强制的零电位参考点。
EPA接地设备：连接到地面、交流电源地线或者建筑物钢架的固定物，可以用来固定一个或者多个接地连接点。
EPA接地连接点：用来连接EPA设备的地面固定物，通常通过接地电缆或者接地线来连接。
接地点：接线摁纽等连接头，通常固定到台垫或者腕带上，用来固定接地线。也称可接地点。